AMC是影響半導(dǎo)體制程的重要因素，主要表現(xiàn)為表面分子污染，這是由氣態(tài)分子和特定表面作用而形成非常薄的化學(xué)膜，化學(xué)膜通常改變產(chǎn)品表面的物理、電子、化學(xué)和光學(xué)特性而導(dǎo)致質(zhì)量缺陷，造成產(chǎn)品良品率下降。AMC種類復(fù)雜、來源廣泛、控制難度高。

AMC控制方案

化學(xué)過濾器用于去除AMC。在潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中，包括新風(fēng)處理機(jī)組（MAU）配置化學(xué)過濾器，風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）上安裝化學(xué)過濾器，以保持大環(huán)境、微環(huán)境中合格的空氣質(zhì)量。

此外為了滿足各生產(chǎn)工序設(shè)備維修的需要，當(dāng)其他的系統(tǒng)不能經(jīng)濟(jì)合理地提供所需要的凈化處理時，設(shè)置移動式深層空氣化學(xué)過濾器，去除局部高濃度的污染氣體，避免高濃度的污染氣體進(jìn)入潔凈室循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)。

采用先進(jìn)化學(xué)過濾技術(shù)去除AMC

化學(xué)反應(yīng):濾料化學(xué)反應(yīng)

污染物同吸附劑中的化學(xué)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而達(dá)到去除污染物的目的

該過程非常特殊，取決于吸附劑和被吸附物的化學(xué)性質(zhì)

該過程基本速度很快，并且是不可逆的

可以將有毒有害氣體化學(xué)氧化為無害的固體

濾料特點

去除效率高，過濾效率可達(dá) 95% 以上

化學(xué)反應(yīng)式過濾原理，無有毒物質(zhì)釋放

產(chǎn)品種類多，能滿足各類氣態(tài)污染物過濾需求

性能穩(wěn)定，處理能力強(qiáng)，反應(yīng)迅速

無細(xì)菌和微生物滋生

化學(xué)過濾器采用了先進(jìn)的材料和技術(shù)，確保了對AMC的高效去除。這些過濾器不僅具備出色的吸附能力，而且能夠根據(jù)污染物的種類和濃度進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同工藝階段的需求。

化學(xué)過濾器特點：

安裝方便，操作簡單;

高效過率，比傳統(tǒng)活性炭更廣譜去除氣態(tài)分子污染物;

低阻力，無遞增壓損，節(jié)能環(huán)保;

使用壽命長，通過化學(xué)吸附法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物。