美國(guó)Tiger Optics公司推出的T-I MAX系列連續(xù)排放污染物（CEMs）痕量氣體分析儀，采用連續(xù)光腔衰蕩光譜（CW-CRDS）技術(shù)，可以ppb級(jí)的超高靈敏度測(cè)量煙氣中氨氣（NH3）、氟化氫（HF）、氯化氫（HCl）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）和甲烷（CH4）等連續(xù)排放的污染物氣體濃度，即使在不斷變化的環(huán)境條件下可以維持高度的線性、精確度和準(zhǔn)確性，并且能在非常長(zhǎng)的使用周期內(nèi)幾乎不需要校準(zhǔn)。Tiger Optics T-I MAX X2/X3 是基于 Tiger Optics 新的多光譜平臺(tái)開發(fā)的下一代空氣分子污染物（AMC）監(jiān)測(cè)儀，該儀器主要用于半導(dǎo)體潔凈室、生物制藥等領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)TigerOptics公司改進(jìn)的連續(xù)光腔衰蕩光譜技術(shù)（CW-CRDS），使用性價(jià)比更高、功耗更低、分辨率更高的連續(xù)光二極管激光器，能夠大大提高光腔耦合效率，快速重復(fù)測(cè)量周期。

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

應(yīng)用CW-CRDS“絕對(duì)”測(cè)量技術(shù)，無(wú)需標(biāo)氣校準(zhǔn)

高精確度和靈敏度，無(wú)漂移

ppt級(jí)超低檢測(cè)限

快速響應(yīng)，對(duì)環(huán)境溫度變化不敏感

直觀的用戶界面，易于使用，快速清理，

低成本，免維護(hù)

應(yīng)用可追溯到世界領(lǐng)先的參考實(shí)驗(yàn)室

性能

精密度（1σ @100s，取大值）： ± 0.5% 或 最低檢測(cè)限 的 1/3

精準(zhǔn)度：讀數(shù)的 ± 4

(T10/90 + T90/10)

環(huán)境條件： 10°C 至 40°C，10% 至 90% 相對(duì)濕度（非冷凝）

樣品條件： 20°C 時(shí)的相對(duì)濕度為 30% 至 70% ，25°C 時(shí)的相對(duì)濕度為 20% 至 50% ，30°C 時(shí)的相對(duì)濕度為 15% 至 40%

存儲(chǔ)溫度：-10°C 至 50°C

氣體處理系統(tǒng)和條件

濕潤(rùn)材料： 針對(duì)ppt級(jí)AMC和快速響應(yīng)速度進(jìn)行了優(yōu)化

氣體接頭： 1/4" PFA 世偉洛克? 進(jìn)、出口

入口壓力： 大氣壓力

出口壓力： 真空（<10 托）

流速： ~3 slpm@1 atm

樣品氣體： 潔凈室空氣、CDA 或 N2

參數(shù)